ウエハ

ウエハ
素材実績: Quartz、LiNbO3 、LiTaO3
ウエハ種類: 表裏面鏡面仕上品 ※(表面:鏡面仕上、裏面:#320~1200仕上品)


品質
項目 | 精度 | |
水晶原石 ・Q値 ・inclusions ・Etch Channel |
・1.8M 以上 ・Grade Ⅱ 以上 ・Grade 1 以上 |
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外径寸法D | ±0.2mm 以下 | |
厚さ | 0.08mm 以上 | |
オリエンテーションフラット | 任意 | |
主面仕上げRq | 0.5nm 以下 | |
面方位 | ±5′ 以下 | |
TTV | 1μm 以下 | |
反り | 50μm 以下 | |
外径寸法 | φ50mm (2”) Φ76.2mm (3”) 、Φ100mm (4”) |
ウエハ研磨加工 LAP~Polishing




ウエハ測定


ウエハ測定画像(両面鏡面仕上品)



