ウエハ

素材実績： Quartz、LiNbO3 、LiTaO3
ウエハ種類：表裏面鏡面仕上品　※（表面：鏡面仕上、裏面：＃320～1200仕上品）

項目	精度
水晶原石・Q値・inclusions ・Etch Channel	・1.8M 以上・Grade Ⅱ 以上・Grade 1 以上
外径寸法D	±0.2mm 以下
厚さ	0.08mm 以上
オリエンテーションフラット	任意
主面仕上げRq	0.5nm 以下
面方位	±5′ 以下
TTV	1μm 以下
反り	50μm 以下
外径寸法	φ50mm (2”) Φ76.2mm (3”) 、Φ100mm (4”)